半導體波前相位成像量測技術領導廠商 Wooptix，於 2026 年 5 月 4 日在法國技術研究機構 CEA-Leti 的格勒諾布爾技術研究機構，成功完成了首套量產規格 Phemet® 系統的安裝。這標誌著該系統正式投入半導體生產應用，並在工業級半導體無塵室和先進研發試量產環境中，支援雙方在晶圓尺度製程特徵、奈米表面形貌及先進封裝量測等領域的合作。
Phemet® 系統的技術優勢
Phemet® 量測系統以其極高的速度和精度，成為半導體製程控制的理想工具。該系統能夠在亞奈米級解析能力下，進行晶圓形貌與幾何量測，滿足半導體產業對更高性能、更小尺寸和更複雜元件的需求。隨著半導體技術不斷進步，市場對更先進製程控制能力的需求也日益增加，Phemet® 正是為了應對這一挑戰而開發。
Wooptix 執行長 José Manuel Ramos 指出，「透過與 CEA-Leti 的合作，我們得以在高度受控的半導體無塵室環境中驗證 Phemet® 系統，並攜手全球頂尖半導體業者，針對實際製程開發挑戰建立應用驗證成果。」
雙方合作的意義
CEA-Leti 合作計畫經理 Viorel Balan 表示，「與 Wooptix 的合作為因應最前沿的奈米表面形貌量測挑戰開啟了新的可能性。透過 Phemet® 平台，我們希望進一步深化對相關製程的理解，支援歐盟研究計畫，並加速下一世代先進封裝技術的研發。」
此次合作不僅有助於 Wooptix 在歐洲重要半導體聚落——法國格勒諾布爾的布局，還為其技術在與實際產品及製程高度相關的環境中，直接測試、驗證並持續完善提供了機會。
從產業面來看，Wooptix 在法國部署 Phemet® 系統，不僅是技術上的突破，更是國際合作的重要里程碑。這項合作將進一步推動半導體產業的創新，特別是在先進封裝技術和奈米尺度特徵量測方面。隨著歐盟研究計畫的推進，未來有望看到更多突破性的研究成果。
展望與影響
隨著半導體技術不斷進步，市場對更先進製程控制能力的需求也日益增加。Phemet® 系統的成功部署，不僅提升了半導體製程的精密度和效率，還為歐盟的研究項目提供了重要的技術支持。未來，Wooptix 和 CEA-Leti 的合作將繼續探索新的應用，並進一步鞏固歐洲在全球半導體產業中的地位。
對於讀者來說，這項技術的突破意味著半導體產品將更加高效、可靠，並有望在更多領域得到應用。如果你對半導體技術的最新發展感興趣，不妨關注 Wooptix 和 CEA-Leti 的後續合作動態。
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